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“目前，干法刻蚀工艺主要是离子铣刻蚀、等离子刻蚀和反应离子刻蚀三种方案。”
“而这三种方案，离子铣刻蚀最为简单，可控性也比较高，技术成熟度也很高，相关的专利其实也已经被申请的差不多了，想要弯道超车，避开西方的专利壁垒，这个方案非常的难。”
“除此之外，这个方案也有技术本身的缺点，那就是刻蚀选择性极差，必须采用专门的刻蚀终点检测技术，并且刻蚀速率也比较低，性比价相当低。”
“而等离子刻蚀，虽然通过选择和控制放电气体的成分，可以得到较好的刻蚀选择性和较高的刻蚀速率，但是刻蚀精度却并不高，一般只能运用在大于4-5微米线条的工艺之中。”
“而我们实验里正在进行的项目，就是王总设计的反应离子刻蚀方案！”
陈凌岳一边介绍着，一边带着尹之耀等人朝着刻蚀方案项目区域而去。
听到陈凌岳这么介绍，尹之耀的神情并没有多大的变化。
论文他已经看过了，虽然有些吃惊王东来的动作迅速，直接就在自己的实验室进行验证，但如果只是这样的话，也只能算是一般，中规中矩。
尹之耀的心里想法，其实不仅是王东来能看出来，陈凌岳也能看出来。
选择合适的气体组分，不仅可以获得理想的刻蚀选择性和速度，还可以使活性基团的寿命短，这就有效地抑制了因这些基团在薄膜表面附近的扩散所能造成的侧向反应，大大提高了刻蚀的各向异性特性。
并且，论文里面透露出来的信息，也让尹之耀充满了期待。
眼睛一眨不眨地看着仪器。
作为刻蚀行业沉浸几十年的大佬，尹之耀心里不断地评价着这座实验室。
按理来说，其实面对王东来设计出来的这一份刻蚀方案，不应该这么激动和看重。
王东来和陈凌岳等人见到尹之耀这样的表现，心里也不禁对尹之耀生出了一丝钦佩。
作为沉浸这一行几十年的老专家，在他手上其实也研发出来过不少先进的刻蚀方案。
毕竟这么大岁数的人了，还能对技术保持这样的心态，属实是很不错了。
这种刻蚀过程同时兼具物理和化学两种作用，辉光放电在零点几到几十帕的低真空下进行，硅片处于阴极电位，放电时的电位大部分降落在阴极附近，大量带电粒子受垂直于硅片表面的电场加速，垂直入射到硅片表面上，以较大的动量进行物理刻蚀，同时它们还与薄膜表面发生强烈的化学反应，产生化学刻蚀作用。
因为一个很简单的道理，技术越往后发展，所受到的掣肘也就越大，需要避开的东西也就越多。
而现在，尹之耀的面前就有这些仪器。
因为他已经确定了，王东来的这份蚀刻方案确实是合格的，甚至是优秀。
而尹之耀则是第一时间，想要进去看看结果如何，便看向王东来准备出声征求意见。
不得不说，在面对这方面的时候，尹之耀表现出来的热爱，极为真诚和热烈。
操作人员再三检查无误之后，陈凌岳便下令开始验证起来。
刻蚀方案已经出现过了那么多种，后来人想要避开，所需要的知识储备就要更多，设计也就需要更加精妙。
现代的干法刻蚀设备包括复杂的机械、电气和真空装置，同时还配备有自动化的刻蚀终点检测和控制装置，价格昂贵，很少有实验室会完全配备。
单单只是一个刻蚀流程，其实并不需要耗费多长时间。
不等尹之耀说出口，王东来便点了点头，说道：“尹总是这方面的专家，可以检查一下！”
等到见到实验项目的时候，尹之耀就变得无比认真起来。
这一刻，尹之耀恨不得把自己的眼睛摘下来放到上面去看，免得错过任何一点关键信息。
但实际上并不是这样。
王东来当时在构思方案的时候，原本是想着弄出一份离子蚀刻方案就行了，但是在【大脑超频】的状态下，灵感无数，便研究出了一份全新的反应离子刻蚀方案。
看了王东来的论文之后，尹之耀已经认定王东来是这方面的天才了。
至于反应离子刻蚀的原理倒也算简单。
在设计好之后，便发给了陈凌岳，让他在实验室里进行验证。
足足检测了半個小时。
而越看，尹之耀越是惊叹。
所以，很快仪器就停了下来。
经过差不多两天的设备调校，今天便是验证的时间了。
一路无话，很快就到了地方。
机器轻轻地嗡鸣地响了起来，顿时就见到仪器开始运动起来。
放下成品后，尹之耀的眼神无比明亮。
王东来充满自信，丝毫不怕会出什么问题。
“嗡！”
所以，此刻尹之耀可以说是用出了自己最大的精力来观察，来检查。
尹之耀也不客气，点了点头，立即就走了进去，开始检查起来。
“看来银河科技还是很舍得在这方面投入的！”
说实话，这些仪器如果不是陈凌岳加入银河科技的话，恐怕还需要大半年的时间甚至更长时间才能凑齐。
反应离子刻蚀也是超大规模集成电路工艺中很有发展前景的一种刻蚀方法。
这些仪器，目前也经过人为的修理调整，用来验证王东来的反应离子刻蚀方案。
完全不像是一个刚刚出现的设计方案，更像是运行多年的成熟方案，根本毫无挑剔之处。
完美！
只能用这个词来形容。
心里给出判断之后，尹之耀既是兴奋，又是紧张起来。
兴奋在于通过这份设计方案，他可以很明确地说，刻蚀装备国产化已经没有多大的问题了。
而紧张在于，王东来表现的能力，让他这个中威公司的老板开始有些担忧自家公司的发展情况了。
毕竟，他已经知道王东来的银河科技将会在半导体行业进行发展。
有这样的领头羊攻坚克难，将会发生什么样的结果，他可是太清楚不过了。
因为当初，他也是这样过来的。
“尹总，你觉得如何？”
王东来走过来，笑着出声问道。
“王总，和你对比一下，我都感觉我这几十年都白活了，后生可畏啊！”
尹之耀丝毫不掩饰自己的态度，面带一丝苦笑地自嘲说道。
“既然这样的话，那尹总不妨和我一起再去转转？”
王东来伸出手，邀请着尹之耀。
“好！”
尹之耀也不傻，自然明白王东来这个时候这样邀请自己，肯定是有重要的事情要说。
于是乎，两人便再次在实验室里转了起来。
人工智能医疗项目、锂电池项目、无人机项目……
一个个的项目区域走过去，王东来也都对尹之耀进行了简单的介绍。
最后，回到了办公室之后，尹之耀心里也逐渐琢磨过来王东来的想法打算了。
“王总，明人不说暗话，昨天你说是要联手合作，是按照什么样的方案进行？”
尹之耀并没有遮掩，直接问了出来。
因为他知道，自己处在下风，根本没有多少讨价还价的余地。
倒也不是说自己的公司没有了这份设计方案，就会倒闭，开不下去了。
无非就是自家公司发展的慢一些，再迟几年盈利而已。
但是，现在已经看到王东来设计方案能力的强大，他自然不会放过这个机会。
商业领域，没有人会愿意多一个竞争对手。
对于尹之耀主动开口询问，王东来并不意外，反而是在预料之中。
“尹总，你觉得国内的半导体行业应该怎么发展比较好？”
王东来并没有直接回答尹之耀的问题，而是问起了另外的一个问题。
尹之耀稍稍愣了一下神，才出声说道：“其实国内目前已经有不少的半导体设备公司，从光刻机到圆晶厂，再到芯片设计，都有公司在默默发展。”
“虽然有些领域相比较于国外差距还很大，可是已经解决了从无到有的问题，接下来，只需要大力投入资金和人才，再通过时间的积累，慢慢追赶，还是能够追上的。”
“咱们国家人口众多，庞大的人口基础下，相对应的人才也不在少数，追赶的速度应该不会太慢。”
就在尹之耀这么说着的时候，王东来忽然出声打断了尹之耀的话。
“那尹总觉得需要多少年，才能追赶上来？”
尹之耀没有在意王东来打断自己的讲话，沉吟一下，就给出了一个时间，说道：“快的话，三十年就能赶上，慢的话，五十年就差不多了。”
这个时间，并不是尹之耀胡说八道，而是他作为行业内的资深人士，结合自身所知道的情况，做出的判断。
眼下，国内的光刻机等领域就差了国外公司二十年的技术积累，国内在追赶，国外也在进步，如果一切顺利的话，想要追赶上的，自然不可能只是二十年。
就这，还是尹之耀将国家大力支持，投入大量的资金和人才进行研发的前提条件算了进去。
要是没有这些前提条件，追赶的速度只会更慢。
“尹总，三五十年太长了，人生苦短，只争朝夕！”
“并且，将时间拉长到三五十年的话，谁敢说在这么长的时间里没有其他的什么变故。”
“依我的想法，西方未必会给我们这么长的时间来追赶，且看贵公司只是发展这几年，就遭受了多少的指控和起诉，就能看出他们的想法。”
“国家每年在半导体方面进口的数额高达几千亿，这个市场实在是太大了，他们不会就这么看着我们安安稳稳地突破的。”
“专利壁垒，技术制裁，这些手段都是可以预见到的。”
“不知道尹总觉得我说的有没有道理？”
王东来说完之后，便静静地看着尹之耀，等着他的回答。
尹之耀在国外待了这么多年，自然是知道这些公司的作风。
尤其是，在自己回国之后，接连被泛林和应用材料这两家老东家起诉，早已经让他彻底看清了这些自诩自由民主的大公司的真实面目。
这两次起诉，要不是他从一开始就有所防备，避开了专利纠纷，恐怕中威公司早就被碾压的破产了。
就算是这样，尹之耀也不觉得他们会放过自己，他们必然还在盯着自己，时刻准备噬咬一口。
但是，就算是知道这些，尹之耀也不怎么想附和王东来的想法。
王东来的意思，通过这段话，尹之耀已经看的很清楚了。
无非就是想要联手，一起攻克难关，国产化，避开西方的专利钳制！
想法是好想法，就是不切实际。
心里这么想着，尹之耀开口了。
“王总说的很有道理，西方的那些公司确实是这样，仗着专利壁垒，仗着自己掌握先进技术，将产品翻倍地卖给我们，赚取大量的财富。”
“断人财路，杀人父母，每年国家几千亿的进口，都是他们餐盘中的肉，根本不容其他人染指，要是一旦发现有人意图夺取，当即就会引来他们雷霆般的打击！这个行业，虽然不能说是被他们几家垄断了，但也绝对是被他们几家联手控制起来，不允许出现新的顶尖巨头公司。”
“王总，想要国产化，无异于虎口夺食，难度颇高！”
尹之耀摇了摇头，并没有明说什么，但又像是什么都说了。
“尹总的话我明白了。”
王东来其实也想过尹之耀会拒绝自己的提议，倒是显得很平静。
办公室的气氛也在这个时候变得有些安静下来。
“王总，我们都是国人，王总既然有这样的雄心壮志，我自然是极力支持的，其他的领域可能帮不到，但是蚀刻这一方面，我们中威却是当仁不让了。”
“这方面，我认为我们有很大的合作空间，不知道王总意下如何？”
尹之耀笑意盈盈，出声对王东来如此说道，仿佛是刚才什么都没有发生过一样。
“好啊，既然尹总有意，那我们可以好好商议一下这份蚀刻方案的价格了。”
王东来也不在意，当即就表达了自己的想法。
顿时，两人便在办公室里面进行了商业谈判。
原本开出两百万价格的方案，也翻了几倍。
同时，两人也达成了一定的协议和约定。
(本章完)
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